ИЗУЧЕНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ И ЭЛЕКТРО-ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ КРЕМНИЕВЫХ КОНТАКТНЫХ СТРУКТУР

• Юлдашева Азиза Бахрамовна

  Магистрант КГУ Кафедра физики полупроводников

  Author

В данной статье рассматриваются процессы формирования кремниевых контактных структур и анализируются их электрофизические свойства. Изучены технологические этапы создания металл–полупроводниковых, диэлектрических и гетероструктурных контактов на основе кремния, а также механизмы переноса тока и факторы, влияющие на сопротивление контакта. В работе исследованы изменения электрических характеристик в зависимости от температуры, уровня легирования, состояния интерфейса и типа контакта. Проведённый анализ позволяет определить ключевые технологические параметры, необходимые для разработки надёжных и высокоэффективных микро- и наноэлектронных устройств.

. Э. Х. Родерик — «Контакты металл – полупроводник», переведено на русский язык, Москва, Радио и связь, 1982.

С. В. Дорогой — «Физические основы электроники. Контакты металл – полупроводник», Новосибирский государственный технический университет, 2019

https://rusneb.ru

ДАЛИЕВ ШАХРУХ ХОЖАКБАРОВИЧ “ КРЕМНИЙЛИ СТРУКТУРАЛАРНИНГ ЭЛЕКТРОФИЗИК ХУСУСИЯТЛАРИГА Zr, Ti ВА Hf КИРИШМАЛАРИНИНГ ТАЪСИРИ” Ташкент 2017.

• PDF